晶圆生产线多类型AMR协作使用实例
时间: 2024-04-04 作者: 产品新闻
捷螺体系针对AMHS经过AMR机器人来处理整厂的物料传输，即晶圆纯运送机器人担任Interbay，作为工序区间搬送体系；复合型手臂机器人担任Intrabay传输及对接机台作业。两者可彼此对接协作，使用于工序区间或工厂间运送。愈加全面实现全厂物料主动转移。
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